超纯氢气纯化装置
概述：
高纯氢气的制取根据原料气的纯度来选定，它的工艺方法如下：
*一种方法：普氢为原料，氢气纯度大于99.8%，其工艺流程是首先对普氢进行预处理，将氢气的杂质氧、二氧化碳、水份除掉，经过预处理后的氢气，其氧气含量小于1ppm，露点至-65℃~-70℃，然后将此氢气由钯管纯化单元进一步的提纯，氢气的质量标准符合GB/T7445-1995超纯氢指标即氢气纯度99.9999%，O2≤0.4ppm, N2≤0.4ppm, CO≤0.1ppm CO2≤0.1ppm, CH4≤0.2ppm, H2O≤1ppm。
第二种方法：采用纯度为99.999%，氢气再由贮氢合金单元提纯到99.9999%。贮氢合金在一定的温度和压力条件下，可以吸取氢气或释放氢气，而对其它气体就无此种性能，它的工艺过程是比较简单。
工艺方案
使原料氢气先通过预纯化装置，将原料氢气纯度由99.8%提高到99.99%，再经过精处理装置将99.99%氢气提纯到99.9999%。预纯化装置由高效钯催化剂脱除氧份，氢气由冷却器降温后送至吸附干燥器脱水，此时氢气的纯度大于99.99%，精处理装置以钯管为纯化单元，将氢气纯度由99.99%提纯到99.9999%以上。
技术指标
原料氢气纯度： ≥99.8%
工作压力： 1.0~6.0Mpa
装置的处理气量：0.5~800 m3/h
经纯化后氢气纯度为：99.9999%
氧气≤0.4ppm CO2+CO≤0.4ppm
CH4≤0.2ppm 露点：≤-78℃
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